好用的射频等离子设备

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江苏鲁汶仪器申请射频等离子体匹配网络电路专利,能满足高低能量等...实现低功率等离子体的稳定工艺,具体可以通过调整电容模块的电容和电阻模块的电阻实现对于低功率等离子体工艺的精确调整,由此可见,本申请实施例提供的射频等离子体匹配网络电路,能够满足对于高低能量等离子体组合工艺的需求,拓展了半导体设备的工艺窗口,能够更好地进行半导...

＋﹏＋ 华为公司申请驱动装置、射频阻抗匹配器和射频等离子体系统专利,...金融界2024年2月2日消息,据国家知识产权局公告,华为技术有限公司申请一项名为“驱动装置、射频阻抗匹配器和射频等离子体系统“,公开号CN117501535A,申请日期为2021年9月。专利摘要显示,本申请实施例提供一种驱动装置、射频匹配器和射频等离子体系统,该驱动装置包括:驱...

应用材料公司取得具有多个射频网孔以控制等离子体均匀性的静电卡盘...金融界2024年11月1日消息,国家知识产权局信息显示,应用材料公司取得一项名为“具有多个射频网孔以控制等离子体均匀性的静电卡盘”的专利,授权公告号 CN 111837231 B,申请日期为 2019 年 2 月。

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和田宇和医疗科技有限公司中标哈密市中心医院等离子射频手术系统...2024 年 8 月 31 日,根据中国政府购买服务信息平台公示,和田宇和医疗科技有限公司中标哈密市中心医院等离子射频手术系统采购项目,中标金额为 105000 元,评审总得分 77.33 分。货物类主要标的为 1 套品牌为万维的等离子射频手术系统 SPK100,单价 105000 元。评审专家为陈豪、...

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中微公司申请一种等离子体处理装置专利,单一腔体可满足多种射频...设备(上海)股份有限公司申请一项名为“一种等离子体处理装置“,公开号CN202211678397.0,申请日期为2022年12月。专利摘要显示,本发明公开了一种等离子体处理装置,包括反应腔,该反应腔内设置有上电极以及与该上电极相对的下电极组件,所述下电极组件下表面连接有射频导杆,从...

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...可以更灵活、更方便地对等离子体间隔层进行控制,有效减少或避免...股份有限公司申请一项名为“一种斜面蚀刻方法及其设备“,公开号CN202211645820.7,申请日期为2022年12月。专利摘要显示,本发明提供一种斜面蚀刻方法及其设备,下电极主体与第一边缘电极、第二边缘电极形成射频回路,用于将反应气体在邻近晶圆边缘的空间内解离形成等离子体...

【投融资动态】励兆科技Pre-A++轮融资,融资额数千万人民币,投资方为...上海励兆科技有限公司是半导体设备等离子体源及配套系统的制造商。致力于等离子体工艺设备核心部件的研发、制造和销售,主要产品包括:射频电源、自动阻抗匹配器、远程等离子体源,以及定制化模块,包括高压模块、直流偏压探测器、滤波器等,并提供系统的技术解决方案。数据来...

德福科技申请等离子处理铜箔表面方法专利,提高对铜箔表面处理效果本发明公开了一种等离子处理铜箔表面方法,通过将铜箔放置在等离子清洁装置上,所述等离子清洁装置主要由工作台、移动支架、等离子发生器和射频电源组成,所述等离子发生器通过高度调节机构安装在移动支架上,所述移动支架在工作台上水平移动,所述等离子发生器的一端安装有气...

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中微半导体申请射频传输元件相关专利,有效延长使用寿命金融界2024年11月15日消息,国家知识产权局信息显示,中微半导体设备(上海)股份有限公司申请一项名为“射频传输元件及其制备方法、等离子体装置”的专利,公开号 CN 118942992 A,申请日期为 2023 年 5 月。专利摘要显示,本发明公开了一种射频传输元件及其制备方法、等离子体...

中微公司申请一种等离子体处理装置专利,延长了传动杆的使用寿命中微半导体设备(上海)股份有限公司申请一项名为“一种等离子体处理装置“,公开号 CN202310207928.6,申请日期为 2023 年 3 月。专利摘要显示,本发明提供一种等离子体处理装置,其包含:真空反应腔,其内有可升降下电极组件,真空反应腔底壁设有射频屏蔽基板;射频导杆,其顶端与下电...

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